在半导体行业，高纯度石墨主要用作加热系统、绝缘罩、电极等。高纯度石墨的耐腐蚀、抗氧化、导电性和导热性等优点被应用于半导体行业，使工件寿命更长、更耐磨、更节能。我公司采用德国半导体级石墨材料，精确制造离子注入用石墨耗材，提供标准件和定制规格。

根据颗粒均匀、细小的特性，高纯度石墨可以用作低原子序数材料。它对离子和等离子体有很强的抗轰击性，耐腐蚀性强，纯度高，没有金属离子，对半导体没有污染，暴露在离子注入设备中的金属部件会造成很高的损耗，所以使用相应的石墨部件作为屏蔽。用于等离子体cvd零件、等离子体vcd受体、电极室、喷嘴、内衬、溅射电极、movcd受体等。

直拉单晶家具中使用的石墨零件是由各种高纯度石墨加工而成的一种消耗性零件。例如，石墨十字架等石墨部件采用高纯度细粒结构石墨；石墨加热器采用高纯度各向同性石墨；石墨绝缘罩和石墨盖板采用高纯中粒结构石墨。

等静压石墨的性能